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半導(dǎo)體用超純水設(shè)備電去離子（Electrodeionization 簡(jiǎn)稱EDI）是將電滲析膜分離技術(shù)與離子交換技術(shù)有機(jī)地結(jié)合起來(lái)的一種新的制備超純水（高純水）的技術(shù)，它利用電滲析過(guò)程中的極化現(xiàn)象對(duì)填充在淡水室中的離子交換樹脂進(jìn)行電化學(xué)再生。濃水室中自己水的流動(dòng)將帶走水中的陰陽(yáng)離子。膜阻止帶相反電荷的離子的進(jìn)入淡水室在水流通過(guò)淡水室的過(guò)程中，離子被樹脂去處，所以膜的有效側(cè)（淡水室）就會(huì)產(chǎn)生純水。